磁控濺射鍍膜機(jī)鍍膜原理
2020-11-09 來(lái)自: 肇慶高要區(qū)恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數(shù):914
磁控濺射鍍膜機(jī)使用磁控濺射鍍膜靶源,無(wú)論是非平衡式還是平衡式的磁控濺射鍍膜靶源,如果是靜止的磁鐵產(chǎn)生的磁場(chǎng)功對(duì)材的利用率會(huì)小于30%。一般的小型鍍膜設(shè)備,多采用磁場(chǎng)靜止靶材。鑒于此,可以通過(guò)更改磁場(chǎng)來(lái)增大對(duì)靶材的利用,旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)用在大型設(shè)備。
磁控濺射技術(shù)總體來(lái)說(shuō)都是利用電子與磁場(chǎng)的交互,產(chǎn)生大量離子撞擊靶材完成靶材的濺射,其中離不開(kāi)惰性氣體的參與,在如今的磁控濺射設(shè)備中已經(jīng)淘汰了線圈的磁鐵改為磁鐵。
一臺(tái)良好的磁控濺射鍍膜設(shè)備代價(jià)很高,靶源相當(dāng)于鍍膜設(shè)備的心臟但往往容易被購(gòu)買(mǎi)者忽視,很多朋友注重膜層厚度的測(cè)量、配套的真空泵好壞,MFC程序是否好用,別的方面在好如心臟不夠有力對(duì)整體的效果的影響是很大的,源的冷卻是保障源不被高溫所損壞的必須配置。
磁控濺射可以有中頻、高頻和直流之分,中頻磁控濺射的原理很直流磁控濺射是一樣的,在整個(gè)系統(tǒng)磁控濺射鍍膜中,筒體與陰極和陽(yáng)極的安排有關(guān)聯(lián),其不同在于直流磁控濺射的陽(yáng)極是筒體,而中頻磁控濺射成對(duì)出現(xiàn)。就中頻磁控濺射而言,如今使用比較多的是鍍制一些金屬的產(chǎn)品,這種設(shè)備一般制作的比較大型,可以放下非常多的產(chǎn)品一起鍍制,提高了效率以及膜層的致密性。
利用不同的磁控濺射鍍膜技術(shù)可以得到不同的離子密度,改變磁場(chǎng)的設(shè)計(jì)可以改變離子的量以及分布,對(duì)于磁控濺射技術(shù)來(lái)說(shuō)磁場(chǎng)是機(jī)密的。。