小型高真空有機金屬蒸發(fā)鍍膜機

　　廣泛應(yīng)用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等，特別適合太陽能電池、有機EL、LED顯示管研究與開發(fā)領(lǐng)域。

　　主要特點/優(yōu)勢：

　　完全封閉的系統(tǒng)框架設(shè)計，外觀更漂亮，使用更安全;是一臺兼具美學(xué)和用戶操控體驗的全新升級產(chǎn)品;

　　前開門真空腔體，方便取放基片、更換蒸發(fā)舟、添加蒸發(fā)材料以及真空室的日常維護;

　　復(fù)合分子泵和直聯(lián)旋片泵，大抽速準無油真空系統(tǒng)(分子泵抽速≥400L/S);

　　兩組水冷式蒸發(fā)電極，可長時間穩(wěn)定工作，兼容金屬材料與有機材料的蒸發(fā)源設(shè)計;

　　專業(yè)真空蒸發(fā)電源，數(shù)顯工作電流和電壓，恒流輸出;

　　可鍍110mm方形基片或15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一體化高精度刻蝕掩膜板;

　　襯底可選擇加熱或水冷，源基距≥300mm;

　　良好的薄膜均勻性和重復(fù)性，可在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚;

　　可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金屬、化合物(MoO3, LiF等)及有機物材料，可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜;

　　設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小(0.92平米);設(shè)備配腳輪，方便移動和定位。