有關(guān)PVD鍍膜機(jī)的特性
2018-08-16 來(lái)自: 肇慶高要區(qū)恒譽(yù)真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數(shù):1479
有關(guān)PVD鍍膜機(jī)的特性
PVD鍍膜機(jī)指利用物理過(guò)程實(shí)現(xiàn)物質(zhì)轉(zhuǎn)移,將原子或分子由源轉(zhuǎn)移到基材表面上的過(guò)程。它的作用是可以使某些有特殊性能(強(qiáng)度高、耐磨性、散熱性、耐腐性等)的微粒噴涂在性能較低的母體上,使得母體具有更好的性能。
增強(qiáng)型磁控陰極弧,陰極弧技術(shù)是在真空條件下,通過(guò)低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積。增強(qiáng)型磁控陰極弧利用電磁場(chǎng)的共同作用,將靶材表面的電弧加以有效地控制,使材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。
過(guò)濾陰極弧,過(guò)濾陰極電弧(FCA )配有高效的電磁過(guò)濾系統(tǒng),可將離子源產(chǎn)生的等離子體中的宏觀粒子、離子團(tuán)過(guò)濾干凈,經(jīng)過(guò)磁過(guò)濾后沉積粒子的離化率為100%,并且可以過(guò)濾掉大顆粒, 因此制備的薄膜非常致密和平整光滑,具有抗腐蝕性能好,與機(jī)體的結(jié)合力很強(qiáng)。